Mems-Phased-Array für Lidar-Anwendungen

EP4022345 Art B1 14. Mai 2025

Anmelder: Silicon Light Machines Corporation, SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4022345
Aktenzeichen: EP20858593
Anmeldetag: 27. August 2020
Veröffentlichung: 14. Mai 2025
Erteilung: 14. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01S7/484G01S7/481G01S7/48G01S17/10G01S17/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Silicon Light Machines Corporation
SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇺🇸 USA

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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