Herstellung von Geblazter Diffraktiver Optik mittels Oxidation durch Maske
EP4022394
Art A1
6. Juli 2022
Anmelder: PAUL SCHERRER INSTITUT 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4022394
- Aktenzeichen
- EP20765205
- Anmeldetag
- 11. August 2020
- Veröffentlichung
- 6. Juli 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G03F7/075G03F7/40G03F7/20B33Y10/00B33Y70/00B33Y80/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PAUL SCHERRER INSTITUT
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
PAUL Scherrer Institut
Das Paul Scherrer Institut ist das größte Forschungszentrum für Natur- und Ingenieurwissenschaften der Schweiz mit Sitz in Villigen und Anbindung an Großforschungsanlagen wie Synchrotron und Freie-Elektronen-Laser. Die Patente betreffen vor allem Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiterelemente, ergänzt um Medizintechnik, Verfahrenstechnik und Optik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.
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