System und Verfahren zur Anwendung von Oberschwingungsdetektivität als Qualitätsindikator für Bildbasierte Überlagerungsmessungen
EP4025867
Art B1
14. Mai 2025
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4025867
- Aktenzeichen
- EP20865290
- Anmeldetag
- 16. September 2020
- Veröffentlichung
- 14. Mai 2025
- Erteilung
- 14. Mai 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/24G01B15/04G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank