Dunkelfeldbildgebung von Gitter-Zielstrukturen zur Overlay-Messung
EP4025901
Art A1
13. Juli 2022
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4025901
- Aktenzeichen
- EP20863674
- Anmeldetag
- 31. August 2020
- Veröffentlichung
- 13. Juli 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00H01L21/66G01R31/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank