Empfindliche Optische Metrologie in Abtast- und Statischen Moden
EP4025903
Art A1
13. Juli 2022
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4025903
- Aktenzeichen
- EP20870343
- Anmeldetag
- 22. September 2020
- Veröffentlichung
- 13. Juli 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/95G01N21/89G01N21/88G01B11/02G01B11/26G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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