Schwingungsdetektionssystem

EP4027119 Art A1 13. Juli 2022

Anmelder: Shinkawa Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4027119
Aktenzeichen
EP20861869
Anmeldetag
3. September 2020
Veröffentlichung
13. Juli 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G01H9/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shinkawa Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shinkawa

Shinkawa ist ein japanischer Hersteller von Bondanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Musashimurayama. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Elektronik, ergänzt um Mess- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen betreffen überwiegend Montagevorrichtungen und zugehörige Steuerprogramme.

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