Waferzuführungsvorrichtung, Waferspeicherbehälter und Waferspeichersystem

EP4027375 Art B1 30. Oktober 2024

Anmelder: Murata Machinery, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4027375
Aktenzeichen
EP20859722
Anmeldetag
4. August 2020
Veröffentlichung
30. Oktober 2024
Erteilung
30. Oktober 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/673H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Murata Machinery, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Murata Machinery

Japanischer Maschinenbauer (Marke Muratec) mit Schwerpunkt auf Textilmaschinen, Logistiksystemen und Werkzeugmaschinen, nicht zu verwechseln mit Murata Manufacturing.

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Kanzlei
Schoppe, Zimmermann, Stöckeler München, Deutschland

Schoppe, Zimmermann, Stöckeler, Zinkler, Schenk & Partner mbB berät von München aus Unternehmen und Forschungseinrichtungen aus aller Welt, mit technischem Schwerpunkt auf Audio- und Videokodierung, Mobilfunk, künstlicher Intelligenz und Halbleitertechnik.

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