Behandlung einer Dünnschicht durch Wasserstoffplasma und Polarisation zur Verbesserung der Kristallqualität davon

EP4029051 Art A1 20. Juli 2022

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4029051
Aktenzeichen: EP20785807
Anmeldetag: 11. September 2020
Veröffentlichung: 20. Juli 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/30C23C14/58H01L21/321H01L21/768H01L21/02H01L21/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von