Verfahren zur Überwachung eines Lithographischen Verfahrens und Zugehörige Vorrichtungen

EP4030236 Art A1 20. Juli 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4030236
Aktenzeichen: EP21152071
Anmeldetag: 18. Januar 2021
Veröffentlichung: 20. Juli 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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