Verfahren zur Aberrationsmessung und Elektronenmikroskop

EP4030462 Art A9 14. Dezember 2022

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4030462
Aktenzeichen: EP21213088
Anmeldetag: 8. Dezember 2021
Veröffentlichung: 14. Dezember 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/26H01J37/153

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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