Ionenstrahlverarbeitungsgerät und Verfahren zur Steuerung Seines Betriebs

EP4033516 Art B1 22. März 2023

Anmelder: JEOL Ltd., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4033516
Aktenzeichen: EP22151113
Anmeldetag: 12. Januar 2022
Veröffentlichung: 22. März 2023
Erteilung: 22. März 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/305H01J37/08H01J37/18F04D19/04F04D27/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: JEOL Ltd.
Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

288 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von