Signaldomänenanpassung für Metrologie

EP4035203 Art A1 3. August 2022

Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4035203
Aktenzeichen
EP20876623
Anmeldetag
8. Oktober 2020
Veröffentlichung
3. August 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/66G01B11/06G01B21/02G03F7/00G06N3/045G06N3/088
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von

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