Extremwertsuchsteuergerät und Verfahren zur Automatischen Frequenzabstimmung für Hf-Impedanzanpassung
EP4042466
Art A1
17. August 2022
Anmelder: MKS Inc., MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4042466
- Aktenzeichen
- EP20874022
- Anmeldetag
- 27. April 2020
- Veröffentlichung
- 17. August 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32H03K5/00H03H7/40
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Inc.
MKS Instruments, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425 Patente in unserer Datenbank
Kanzlei
Mathys & Squire
München, Deutschland
Mathys & Squire wurde 1910 gegründet und blickt auf über ein Jahrhundert Erfahrung zurück, mit zahlreichen britischen Standorten sowie Luxemburg, München und Paris und Teams in China und Japan, beraten auch auf Deutsch und Chinesisch.
21.180
Patente gesamt
19
Patentanwälte
3
Standorte
Weitere Vertreter
-
MKS IP Association
MKS IP Association · Berlin