Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterdurchkontaktierung

EP4044218 Art B1 17. Januar 2024

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4044218
Aktenzeichen: EP21156498
Anmeldetag: 11. Februar 2021
Veröffentlichung: 17. Januar 2024
Erteilung: 17. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/74H01L21/768H01L23/48H01L23/528H01L23/535

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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