Tröpfchenerzeugerdüse

EP4045468 Art A1 24. August 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4045468
Aktenzeichen: EP20819627
Anmeldetag: 9. Oktober 2020
Veröffentlichung: 24. August 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C03C27/04H05G2/00C03C27/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektronik & Schaltungstechnik

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