Euv-Kollektorspiegel

EP4045949 Art B1 13. November 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, ASML Netherlands B.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4045949
Aktenzeichen: EP20776080
Anmeldetag: 11. September 2020
Veröffentlichung: 13. November 2024
Erteilung: 13. November 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00H05G2/00G02B5/08// G02B5/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
ASML Netherlands B.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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