Membranreinigungsgerät

EP4045974 Art A1 24. August 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4045974
Aktenzeichen: EP20758237
Anmeldetag: 25. August 2020
Veröffentlichung: 24. August 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62G03F1/82B08B7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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