Verfahren zur Anpassung von Messdaten an ein Modell und Modellierung einer Leistungsparameterverteilung und Zugehörige Vorrichtungen

EP4045976 Art A1 24. August 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4045976
Aktenzeichen: EP20786520
Anmeldetag: 5. Oktober 2020
Veröffentlichung: 24. August 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G06K9/62

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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