Vorläufer und Fliessfähige Cvd-Verfahren zur Herstellung von Filmen mit Niedrigem K-Wert zum Füllen von Oberflächenmerkmalen

EP4047109 Art B1 24. Juli 2024

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4047109
Aktenzeichen: EP22160332
Anmeldetag: 25. August 2017
Veröffentlichung: 24. Juli 2024
Erteilung: 24. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/40C23C16/34C23C16/32C23C16/30C23C16/50C23C16/56H01L21/02C01B33/12C07F7/18C09D1/00C09D7/61C23C16/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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