Anordnung zur Trennung von Strahlung im Fernfeld

EP4047400 Art A1 24. August 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4047400
Aktenzeichen: EP21157622
Anmeldetag: 17. Februar 2021
Veröffentlichung: 24. August 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G02B6/26H01S3/00H01S3/032H01S4/00// H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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