Verfahren zur Herstellung von Scheiben aus einem Zylindrischen Stab aus Halbleitermaterial

EP4047635 Art A1 24. August 2022

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4047635
Aktenzeichen
EP21157857
Anmeldetag
18. Februar 2021
Veröffentlichung
24. August 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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