Verfahren zur Verringerung der Elektrodenabstände in Elektronischen Vorrichtungen und daraus Resultierende Vorrichtungen mit Elektrodenlücken im Nanometerbereich mittels Flüssigphasen-Molekularschichtabscheidetechnik
EP4048442
Art A1
31. August 2022
Anmelder: University of Utah Research Foundation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4048442
- Aktenzeichen
- EP20878714
- Anmeldetag
- 26. Oktober 2020
- Veröffentlichung
- 31. August 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01L3/00G01N27/327G01N33/543B82Y15/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- University of Utah Research Foundation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of Utah Research Foundation
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