Integrierte Mehrwerkzeug-Retikel-Inspektion
EP4049087
Art A1
31. August 2022
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4049087
- Aktenzeichen
- EP20890577
- Anmeldetag
- 17. November 2020
- Veröffentlichung
- 31. August 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/84G06T7/00G01N21/88G01N21/956
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank