Systeme und Verfahren zur Metrologie-Optimierung basierend auf Metrologielandschaften
EP4049307
Art A1
31. August 2022
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4049307
- Aktenzeichen
- EP20892175
- Anmeldetag
- 25. Juni 2020
- Veröffentlichung
- 31. August 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G01B11/27G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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