Schnelle Phasenverschiebungsinterferometrie mittels Laserfrequenzverschiebung
EP4049351
Art A1
31. August 2022
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4049351
- Aktenzeichen
- EP20889582
- Anmeldetag
- 16. November 2020
- Veröffentlichung
- 31. August 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B9/02002G01B9/02004G01B9/02015G02F1/11// G01N21/45H01S3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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