Abscheidung Hochkristalliner 2D-Materialien

EP4053879 Art A1 7. September 2022

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4053879
Aktenzeichen: EP21159840
Anmeldetag: 1. März 2021
Veröffentlichung: 7. September 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/324

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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