Verfahren zum Ätzen einer Dielektrischen Dreidimensionalen Schicht
Anmelder: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4053884
- Aktenzeichen
- EP22158665
- Anmeldetag
- 24. Februar 2022
- Veröffentlichung
- 15. November 2023
- Erteilung
- 15. November 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311// H01L29/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Fachgebiete
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