Optische Komponente und Klemme für Lithografische Vorrichtung

EP4055445 Art A1 14. September 2022

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4055445
Aktenzeichen: EP20796758
Anmeldetag: 21. Oktober 2020
Veröffentlichung: 14. September 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B7/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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