Vorrichtung mit einer Elektrostatischen Klemme und Verfahren

EP4057068 Art A1 14. September 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4057068
Aktenzeichen: EP21161486
Anmeldetag: 9. März 2021
Veröffentlichung: 14. September 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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