Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen
EP4059046
Art A1
21. September 2022
Anmelder: ETH Zürich, PAUL SCHERRER INSTITUT, ETH Zurich 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4059046
- Aktenzeichen
- EP20816093
- Anmeldetag
- 5. November 2020
- Veröffentlichung
- 21. September 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/329H01L21/336H01L21/331H01L29/872H01L29/78H01L29/739H01L29/06H01L21/04H01L29/16H01L29/32H01L29/417H01L21/3063H01L29/778H01L29/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ETH Zürich
PAUL SCHERRER INSTITUT
ETH Zurich - Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
ETH Zürich
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, Schweizer Hochschule mit Forschungsschwerpunkten in Natur-, Ingenieur- und Materialwissenschaften.
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🇨🇭
PAUL Scherrer Institut
Das Paul Scherrer Institut ist das größte Forschungszentrum für Natur- und Ingenieurwissenschaften der Schweiz mit Sitz in Villigen und Anbindung an Großforschungsanlagen wie Synchrotron und Freie-Elektronen-Laser. Die Patente betreffen vor allem Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiterelemente, ergänzt um Medizintechnik, Verfahrenstechnik und Optik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.
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