Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen

EP4059046 Art A1 21. September 2022

Anmelder: ETH Zürich, PAUL SCHERRER INSTITUT, ETH Zurich 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4059046
Aktenzeichen: EP20816093
Anmeldetag: 5. November 2020
Veröffentlichung: 21. September 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/329H01L21/336H01L21/331H01L29/872H01L29/78H01L29/739H01L29/06H01L21/04H01L29/16H01L29/32H01L29/417H01L21/3063H01L29/778H01L29/20

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🇨🇭 ETH Zürich

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