Substratverarbeitungsvorrichtung, Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung und Programm
EP4060077
Art A3
14. Dezember 2022
Anmelder: Kokusai Electric Corp. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4060077
- Aktenzeichen
- EP22156630
- Anmeldetag
- 14. Februar 2022
- Veröffentlichung
- 14. Dezember 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455C23C16/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kokusai Electric Corp.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kokusai Electric
Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.
538 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Kanzlei
Thomas Verscht Patentanwalt
München, Deutschland
Münchner Patentanwalt Thomas Verscht, Diplom-Physiker, berät zu Patenten, Marken und Designs für nationale und internationale Mandanten.
513
Patente gesamt
1
Patentanwälte
1
Standorte