Verbesserung eines Sem-Bildes

EP4060600 Art A1 21. September 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4060600
Aktenzeichen: EP21163831
Anmeldetag: 19. März 2021
Veröffentlichung: 21. September 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G06T5/00G06T5/10G06T5/50H01J37/22H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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