Verfahren zum Entfernen von Anhaftendem Material und Filmbildendes Verfahren

EP4064327 Art A1 28. September 2022

Anmelder: Resonac Corporation, Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4064327
Aktenzeichen: EP20890781
Anmeldetag: 4. November 2020
Veröffentlichung: 28. September 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44C23C16/30H01L21/02H01L21/321

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Resonac Corporation
Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

794 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

2.327 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von