Computerimplementiertes Verfahren, Verfahren, Messgerät und Computerprogrammprodukt

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4067809

Aktenzeichen

EP22164926

Anmeldetag

29. März 2022

Veröffentlichung

4. März 2026

Erteilung

4. März 2026

Rechtsraum

EP

IPC

G01B11/24G01B21/04G02B21/24G02B21/36G06T7/571

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein computerimplementiertes Verfahren (40) zum Erzeugen einer Tiefenkarte eines Bereichs einer Oberfläche eines Werkstücks (12), mit den folgenden Schritten: Empfangen (42) eines Fokalbildstapels, wobei der Fokalbildstapel eine Mehrzahl von Bildern des Werkstücks (12) aufweist, wobei die Bilder den Bereich der Oberfläche des Werkstücks (12) mit in einer Tiefenrichtung unterschiedlichen, definierten Fokalebenenpositionen (22) abbilden, wobei jedem Bild des Fokalbildstapels eine Fokalebenposition (22) zugeordnet ist, wobei Bildpunkte der Bilder jeweils einem entsprechendem Objektpunkt auf der Oberfläche des Werkstücks (12) zugeordnet sind; Bestimmen (44) eines Fokuswerts jedes Bildpunkts jedes Bildes des Fokalbildstapels; Einpassen (46) einer Funktion entlang der Tiefenrichtung (20) an die Fokuswerte derjenigen Bildpunkte der Bilder, die demselben Objektpunkt zugeordnet sind; Bestimmen (48) eines Tiefenwerts jedes Objektpunkts auf der Oberfläche des Werkstücks (12) in der Tiefenrichtung (20) basierend auf einem Extremum der eingepassten Funktion; und Erzeugen (50) der Tiefenkarte des Bereichs der Oberfläche des Werk-stücks (12) basierend auf den bestimmten Tiefenwerten. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren (60) zum Vermessen einer Oberfläche eines Werkstücks (12), ein Messgerät zum Vermessen einer Oberfläche eines Werkstücks (12) und ein Computerprogrammprodukt.

Anmelder

Firmen

Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH
Carl Zeiss Microscopy GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete