Verfahren zur Messung der Konzentration von in Halogenfluorhaltigem Gas Enthaltenem Fluorgas durch Uv-Spektroskopie

EP4067873 Art A1 5. Oktober 2022

Anmelder: Resonac Corporation, Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4067873
Aktenzeichen: EP20892100
Anmeldetag: 12. November 2020
Veröffentlichung: 5. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/33G01N33/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Resonac Corporation
Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

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🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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