Verfahren zur Korrektur von Astigmatismus Erster Ordnung und Verzerrung Erster Ordnung in Mehrstrahl-Rasterelektronenmikroskopen
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4068332
- Aktenzeichen
- EP22163969
- Anmeldetag
- 24. März 2022
- Veröffentlichung
- 1. Februar 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/153H01J37/28
Abstract
An example multi-beam scanning electron microscope (MB-SEM) for correcting both astigmatism and linear distortion at least includes an electron source coupled to provide an electron beam, an aperture plate comprising an array of apertures, the aperture plate arranged to form an array of electron beamlets from the electron beam, and an electron column including a plurality of lenses and first and second stigmators, the electron column coupled to direct the array of electron beamlets toward a sample, wherein the first and second stigmators are arranged and excited to correct both astigmatism and linear distortion.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Fachgebiete
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Boult Wade Tennant LLP
Boult Wade Tennant LLP · London