Plasmaresistentes Element, Komponente einer Plasmabehandlungsvorrichtung und Plasmabehandlungsvorrichtung

EP4068912 Art A1 5. Oktober 2022

Anmelder: Kyocera Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4068912
Aktenzeichen: EP20893806
Anmeldetag: 24. November 2020
Veröffentlichung: 5. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44C23C16/455C30B15/34C30B29/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kyocera Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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