Verfahren zur Vermeidung einer Degradation eines Optischen Elements, Projektionssystem, Beleuchtungssystem und Projektionsbelichtungsgerät

EP4070162 Art A1 12. Oktober 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4070162
Aktenzeichen: EP20812245
Anmeldetag: 23. November 2020
Veröffentlichung: 12. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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