Optisches Abbildungssystem

EP4071535 Art B1 21. August 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4071535
Aktenzeichen: EP22174335
Anmeldetag: 13. September 2011
Veröffentlichung: 21. August 2024
Erteilung: 21. August 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G02B13/08G02B17/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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