Molybdäncarbid-Haltiges Pellikel für die Extrem-Ultraviolett-Lithografie

EP4071552 Art A1 12. Oktober 2022

Anmelder: Korea Electronics Technology Institute 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4071552
Aktenzeichen: EP22162246
Anmeldetag: 15. März 2022
Veröffentlichung: 12. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Electronics Technology Institute
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Electronics Technology Institute

Staatlich gefördertes südkoreanisches Forschungsinstitut für Elektronik- und IT-Technologien mit Sitz in Seongnam, das Unternehmen bei Entwicklung und Kommerzialisierung neuer Technologien unterstützt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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