Chemisch-Mechanische Planarisierungspolierzusammensetzungen mit Oxidarmer Grabenbombierung für Anwendungen zur Isolierung von Flachen Gräben

EP4073187 Art A1 19. Oktober 2022

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4073187
Aktenzeichen: EP20898454
Anmeldetag: 21. Oktober 2020
Veröffentlichung: 19. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02C09K3/14H01L21/762H01L21/3105H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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