Modulares Autocodierermodell zur Schätzung von Fertigungsprozessparametern

EP4075340 Art A1 19. Oktober 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4075340
Aktenzeichen: EP21168592
Anmeldetag: 15. April 2021
Veröffentlichung: 19. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G06N3/04G06N3/08// G01B11/00G03F7/20H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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