Verfahren und Systeme zur Überlagerungsmessung basierend auf Weicher Röntgenstrahlen-Scatterometrie
EP4078244
Art A1
26. Oktober 2022
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4078244
- Aktenzeichen
- EP21738070
- Anmeldetag
- 6. Januar 2021
- Veröffentlichung
- 26. Oktober 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01T1/29G01N23/203G01N23/2055G01B15/00G03F7/00H01L21/66G01B15/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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