Charakterisierungssystem und -Verfahren mit Geführter Defektentdeckung
EP4078465
Art A1
26. Oktober 2022
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4078465
- Aktenzeichen
- EP21748328
- Anmeldetag
- 21. Januar 2021
- Veröffentlichung
- 26. Oktober 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06N3/08G06N3/04G06N5/02G06T7/00G01N21/956G01N21/88G06V30/19G06V10/82
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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