Substrat und Verfahren zur Monolithischen Integration von Elektronischen und Optoelektronischen Vorrichtungen

EP4078676 Art A1 26. Oktober 2022

Anmelder: IHP GmbH - Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4078676
Aktenzeichen
EP20824247
Anmeldetag
16. Dezember 2020
Veröffentlichung
26. Oktober 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L27/06G02B6/13H01L21/762H01L27/12H01L21/84
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IHP GmbH - Innovations for High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 IHP – Innovations for High Performance Microelectronics

Deutsches Forschungsinstitut (Leibniz-Institut) mit Sitz in Frankfurt (Oder), das an Hochleistungs-Mikroelektronik forscht, darunter Silizium-Germanium-Technologien und Halbleiterschaltungen für Kommunikations- und Sensoranwendungen.

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