Oberflächenbehandlungsvorrichtung

EP4080285 Art A1 26. Oktober 2022

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4080285
Aktenzeichen: EP21169606
Anmeldetag: 21. April 2021
Veröffentlichung: 26. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20B24B37/14B24B37/16H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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