Elektronenmikroskop und Verfahren zur Verhinderung von Probenkontamination

EP4080543 Art B1 20. September 2023

Anmelder: JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4080543
Aktenzeichen: EP22166780
Anmeldetag: 5. April 2022
Veröffentlichung: 20. September 2023
Erteilung: 20. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JEOL Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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