Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung einer Luftbildsimulation einer Fotolithografischen Maske

EP4081865 Art A1 2. November 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss SMS Ltd. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4081865
Aktenzeichen: EP21707943
Anmeldetag: 23. Februar 2021
Veröffentlichung: 2. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F1/70G03F1/72G03F1/84G03F1/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMS Ltd.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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