Verfahren zur Strukturierung einer Hybriden Oberfläche durch Plasmaätzen

EP4083706 Art B1 19. Februar 2025

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4083706
Aktenzeichen: EP22170196
Anmeldetag: 27. April 2022
Veröffentlichung: 19. Februar 2025
Erteilung: 19. Februar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G03F7/027G03F7/075

Offizieller Volltext

Abstract

L'invention concerne un procédé de réalisation d'une surface structurée hybride, comportant :- le dépôt, sur un substrat (4), d'une couche (2) de résine minérale comportant une proportion de Si et/ou SiO<sub>2</sub> comprise entre 1% et 30% en masse molaire ;- la formation d'une structure comportant une pluralité de motifs (6) dans cette couche, ayant au moins une dimension (h, l), mesurée parallèlement ou perpendiculairement au substrat, comprise entre 50 nm et 500 µm ;- la formation d'une rugosité (Ra) sur au moins une partie de la surface des motifs.

Anmelder

Firmen: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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