Verfahren zur Bildung von Abstandhaltern eines Gates eines Transistors

EP4084045 Art A1 2. November 2022

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4084045
Aktenzeichen: EP22170109
Anmeldetag: 26. April 2022
Veröffentlichung: 2. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/321H01L21/3115H10D48/30

Offizieller Volltext

Abstract

The invention relates to a method for forming spacers of a gate of a transistor comprising: - providing an active layer (13) topped by a gate (20), - forming a dielectric layer (3) covering the gate and the active layer, said dielectric layer having lateral portions (30l), and basal portions covering the active layer, - an anisotropic modification of the basal portions by implantation of hydrogen-based ions in a direction (Z) parallel to the lateral flanks of the gate (22), forming modified basal portions (31b), - an annealing desorbing the hydrogen from the active layer (13) and transforming the modified basal portions (31b) into second modified basal portions (32b). - removal of the modified basal portions (32b) by selective etching of the modified dielectric material with respect to the unmodified dielectric material and with respect to the semiconductor material, so as to form the spacers (E) on the lateral sides of the gate.

Anmelder

Firmen: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

5.940 Patente in unserer Datenbank

🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von